Interdigitaltransducer als Oberflächenwellen-basierter Impedanzsensor

(2017) [Contribution to a book, Contribution to a conference proceedings]

MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in München

Authors

Selected Authors

Nguyen, Vu Hoa
Kaulen, C.
Simon, Ulrich
Schnakenberg, Uwe

Identifier

  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-10973